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電子器件有機(jī)廢氣VOCs排放的特征

返回列表 瀏覽量:1348 發(fā)布日期:2020-10-20 22:56:31【

  為了抓住和掌握TFT-LCD領(lǐng)域加工過程中各加工工序階段VOCs排放的特點(diǎn),以中國某TFT-LCD生產(chǎn)企業(yè)為例,對(duì)VOCs在各生產(chǎn)車間的分布情況進(jìn)行研究。研究結(jié)果表明:列陣車間VOCs濃度均值最大,波動(dòng)范圍在4.14~11.19×10-6(1~12月)之間;彩色薄膜車間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-6(1~12月)之間;列陣和CF車間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-6(12月)之間;TFT-LCD車間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-12之間;列陣和CF車間VOCs濃度均值在TFT-LCD車間VOCs濃度均值揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)是產(chǎn)生細(xì)顆粒物(PM2.5)、活性氧(O3)等二次空氣污染物的重要前驅(qū)物質(zhì),對(duì)大氣環(huán)境造成了霧霾和光化學(xué)污染。VOCs不僅危害自然環(huán)境,而且對(duì)人體健康也有一定的危害。在此階段,我國早已成為世界電子產(chǎn)品消費(fèi)大國,同時(shí)也是世界電子產(chǎn)品生產(chǎn)制造基地。電子業(yè)TFT-LCD在整個(gè)生產(chǎn)加工過程中會(huì)使用到很多溶劑(如PGMEA、N-羥基甲酰胺、等離子等),導(dǎo)致?lián)]發(fā)性有機(jī)物大量排放,這類有機(jī)物成分非常復(fù)雜,主要成分的化學(xué)成分沒有國家職業(yè)質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的限值要求和檢測(cè)方法?,VOCs受到越來越多的關(guān)注。

  對(duì)電子器件有機(jī)廢氣VOCs排放的一般特征進(jìn)行了研究,探討了防止對(duì)策;對(duì)加工過程中電子設(shè)備的有機(jī)物排放進(jìn)行了干燥研究,結(jié)果表明,與商品生產(chǎn)流水線排放不同的VOCs排放與車間有機(jī)廢氣的濃度差異很大;研究了凈化車間VOC的操作計(jì)劃方案,從根本上說明了減少VOCs排放的操作計(jì)劃方案;根據(jù)TFT-LCD生產(chǎn)企業(yè)VOCs排放研究,發(fā)現(xiàn)VOCs排放空氣污染物主要為丙二醇單甲醚冰醋酸酯及其少量揮發(fā)酚。目前我國對(duì)VOCs的研究大多處于宏觀經(jīng)濟(jì)階段,針對(duì)TFT-LCD加工各個(gè)工序VOCs濃度分布情況以及如何減少清潔車間VOCs排放的對(duì)策研究很少。

  本文以一家TFT-LCD生產(chǎn)制造企業(yè)為例,研究了加工過程中各加工工藝VOCs濃度分布情況,并選擇沸石轉(zhuǎn)輪吸咐技術(shù)對(duì)清潔生產(chǎn)車間VOCs進(jìn)行收集解決,對(duì)解決前后車間VOCs濃度進(jìn)行對(duì)照分析,為事后明確提出減少VOCs的解決對(duì)策提供了相對(duì)依據(jù)。

  

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